LCD結線部検査装置

概要

• 本装置はＴＣＰおよびＣＯＧのリード幅ズレ量を計測する装置です。

開発目的

• 従来目視で行われていた結線部の検査を自動、および定量的に行うため。

特徴

• 計測可能リード幅は１５ 〜１００μｍ。
• 繰返し精度：３σ≒０．３μｍ。
• アライメントマーク寸法：　０．１〜０．３ｍｍ。
• ワークティーチングによるアライメントマークの位置、形状登録。
• Windowsを使用した優れたユーザインタフェース。
• LAN接続によるデータの共用。
• 計測結果はCSVファイル形式で保存可能。
• 連続して同種サンプルを計測可能。
• ワークの自動ローディング機能。