Ｔ．Ｔ．Ｓ．シリーズ

２次元スケール方式による新しい非接触精密測定装置
(Through The Scale)

TTS-2515/TTS-3747

特許出願

概要

１．自動測定

• 液晶用ガラス基板、フィルムパターン、プリント基盤精密プレス部品、エッチング基板などの複雑な自動測定プログラムを簡単に作成するための豊富なコマンドを用意。

２．非接触で高精度な測定

• 濃淡画像を用いたサブピクセル測定
• ワーク表面の状態による測定精度の低下を防止するための画像処理の採用で正確な測定の実現

３．簡単操作

• ワークを用いたティーチングが容易。
• ウィンドウシステムによる容易なオペレーション。
• CADデータを用いた便利なオフラインティーチングが可能（オプション）。

４．ネットワーク対応

• 測定結果のデータファイルはTCP/IPによるネットワークを経由してPC、WS上の表計算ソフト等で編集が可能。

５．測定仕様を外部で作成可能

• 測定プログラムの言語仕様が公開されているため、測定プログラムを直接作成するシステムをユーザーが構築することが可能。

開発目的

• 自動測定、非接触で高精度な測定、簡単操作を実現するため。

特徴

• クォーツ製２次元スケールによる高精度測定
• 精密画像処理と組み合わせることにより高い精密の測定を実現。
• 視野内繰り返し精度 ： ３σ ＝ ０．０８μｍ 、視野外繰り返し精度 ： ３σ ＝ ０．２５μｍ
• 熱変位の非常に小さいクォーツ材を使った2次元スケールを測長の基準とするため温度変化に強い。
• 2次元スケールは半永久的に変化しないためメンテナンス不要。 つまり、長期にわたり高精度を保証。
• 機械系には高精度を必要としないため低価格。

応用範囲

• ＴＡＢ露光ズレ、リードピッチ、ギャップ計測 各種プリント基板フレキシブル基板の測長評価